SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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ケージ・コアユニット
オプティカルケージシステム

周囲に配置した3本または4本の細長いロッドに、各種光学素子を組み込むことができる、光学系実体配置ツールです。
ロッドをジョインするミラーホルダーを使用することで、立体的な光学系の配置が可能です。

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オプティカルゲージシステムを構成するためのロッドです。
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手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるZ軸ブラケット付のZ軸ステージです。高...