軸タイプ
移動量
テーブル面サイズ
繰返し位置決め精度
耐荷重
自動ステージ
ピエゾ
ピエゾ用の位置検出センサです。
シグマファインステージ(高剛性タイプ)
デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
透過型XYファインステージ
50×50mmの開口部を持つ超高精密位置決め透過型XYステージで、顕微鏡下の試料の微動に適しています。
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SFSコントローラ/ケーブル
ピエゾドライバを1軸/3軸分内蔵したコントローラです。
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