SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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自動ステージ
ピエゾ

ピエゾ用の位置検出センサです。

シグマファインステージ(高剛性タイプ)

デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。

透過型XYファインステージ

50×50mmの開口部を持つ超高精密位置決め透過型XYステージで、顕微鏡下の試料の微動に適しています。

対物レンズ駆動ピエゾアクチュエータ

アクチュエータにピエゾ素子とフィードバック用にデジタルセンサを搭載した倒立型顕微鏡型対物レンズ用アクチュエータです。

対物レンズ駆動ピエゾアクチュエータ
対物レンズ用アダプタ
SFSコントローラ/ケーブル

ピエゾドライバを1軸/3軸分内蔵したコントローラです。

ECSポジショナー

光学機器や手動ステージなどの組付用途として、高精度のピエゾ技術を組込んだ各種ステージです。

ECSポジショナー本体
専用コントローラ
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コントローラ内蔵超小型全固体レーザフリースペースタイプ
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炭酸ガスレーザ用fθレンズ
ジンクセレン（ZnSe）の単レンズで作ったCO2レーザ（10.6μm）用のfθレンズです。
ACアダプタ
ピエゾアシストステージシリーズを駆動させる専用コントローラです。1軸タイプと、3軸タイプをラインナップしています。