SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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ケージ・コアユニット
組み合わせ例

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1台のマスターコントローラで最大8軸まで接続可能なスレーブコントローラによるステージコントロールシステムです。
10nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
スリ割りとボルトによるクランプ方式により、通常のロッド固定ビスよりも安定性の高い保持プレートです。