SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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SFS-120XY(WA)
ズーム

デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。

◦アクチュエータにピエゾ素子と位置フィードバックにデジタルセンサを搭載した、50×50mmの開口部を持つ超高精密位置決め透過型XYステージで、顕微鏡下での試料の微動に適しています。
◦シグマファインステージ用コントローラFINE-503で駆動することが出来ます。コントローラがRS232C、GP-IB(FINE-503のみ)、USBインターフェイスに対応しておりますので、PCから計測・制御ソフトのSGEMCS、SGTERMおよびSGSFSXを使うことにより簡単に位置制御することができます。
◦各種顕微鏡への組み込み、精密計測、半導体検査装置、高精度マスク位置決め、走査型干渉計、画像処理装置、バイオ関連装置等々の用途に最適です。

注意

▶クローズ時の移動量は、オープン時の約20%になります。

外形図

■SFS-120XY(WA)


ズーム
製品

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SFS-120XY(WA)

   

700,000

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仕様

移動量(オープン制御時)

100μm±10%

テーブル面サイズ

120×120mm

アクチュエータ

ピエゾアクチュエータ

質量

1.2kg

理論分解能(オープン時)

1nm

分解能(クローズ時)

10nm

リニアリティ

垂直度(水平方向)

<1μm

繰返し位置決め精度

<0.1μm

耐荷重

19.6N(2.0kgf)

微小変位センサ

デジタルセンサ

対応ケーブル

FINE-CA-3:ピエゾ用
DS1-CA-3:デジタルセンサ用

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SFS-120XY(WA)

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