SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ（PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル（2m）が付属しています。

▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。
▶ピエゾアシスト専用コントローラ（PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。

品番			価格(円)	在庫状況	数量	見積/購入
TADC-402WSPA			133,000	部品あり

テーブル面サイズ	40×40mm
粗動移動量	±6.5mm
微動移動量	30µm以上
マイクロ操作位置	サイド
移動量/1回転	0.5mm
マイクロメータ最小読取	0.01mm
微動最小分解能	20nm以下
移動ガイド	ボールガイド
主要材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
耐荷重	49N(5kgf)
移動精度/真直度	3μm
許容モーメント荷重/ピッチング	2.5N･m
許容モーメント荷重/ローリング	2.5N･m
許容モーメント荷重/ヨーイング	2.5N･m
モーメント剛性/ピッチング	1.22″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	1.22″/N･cm
平行度	50μm
移動平行度	20μm
直交度	10μm
質量	0.32kg

品番	カタログPDF	dxf	STP	IGS	SAT
TADC-402WSPA