SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

ユーザー登録


TADC-402WSRPA
ズーム

手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるXY軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。 ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。

◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。

ご案内

▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル(2m)が付属しています。

注意

▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。
▶ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。

外形図

ズーム
製品

品番

価格(円)

在庫状況

数量

見積/購入

TADC-402WSRPA

NEW
RoHS CE

133,000

部品少な目
仕様

テーブル面サイズ

40×40mm

粗動移動量

±6.5mm

微動移動量

30µm以上

マイクロ操作位置

サイド

移動量/1回転

0.5mm

マイクロメータ最小読取

0.01mm

微動最小分解能

20nm以下

移動ガイド

ボールガイド

主要材質

アルミ

表面処理

黒アルマイト

耐荷重

49N(5kgf)

移動精度/真直度

3μm

許容モーメント荷重/ピッチング

2.5N・m

許容モーメント荷重/ローリング

2.5N・m

許容モーメント荷重/ヨーイング

2.5N・m

モーメント剛性/ピッチング

1.22″/N・cm

モーメント剛性/ローリング

1.22″/N・cm

平行度

50μm

移動平行度

20μm

直交度

10μm

質量

0.32kg

Documents / Downloads

品番

カタログPDF

dxf

STP

IGS

SAT

TADC-402WSRPA

Related product