SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

ユーザー登録


VSGSP-120YAW
ズーム

真空環境に対応した自動回転ステージです。
φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。

ご案内

▶真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。
▶真空用途に使用できる各種ベースホルダーもご用意しています。

外形図

■VSGSP-120YAW


ズーム
製品

品番

価格(円)

在庫状況

数量

見積/購入

VSGSP-120YAW

RoHS CE

520,000

お問合せ
共通仕様

■モータ/センサ仕様

モータ  タイプVSGSP-60YAW:真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相(多摩川精機㈱)
VSGSP-120YAW:真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番VSGSP-60YAW:TS3664N5(□24mm)
VSGSP-120YAW:PK543V-NB(□42mm)
モータ  ステップ角0.72°
センサ  制御出力VSGSP-60YAW:-
VSGSP-120YAW:接点式
センサ  出力論理VSGSP-60YAW:-
VSGSP-120YAW:NORMAL OPEN

■適応ドライバ/コントローラ

適応ドライバSG-5M、MC-Z0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラGSC-01、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
仕様

回転範囲

反時計周りCCW方向は∞
時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止

テーブル面サイズ

φ120mm

移動機構

ウォーム ウォームホイール

移動ガイド

クロスローラ

ステージ材質

アルミ・ステンレス

表面処理

質量

1.7kg

分解能(Full)

0.005°/パルス

分解能(Half)

0.0025°/パルス

最小応答分解能(参考)

0.5mdeg

MAXスピード

20°/sec

繰り返し位置決め精度

0.02°

耐荷重

98N(10.0kgf)

ロストモーション

0.05°

センサ種類

GN-STM35A-1(㈱メトロール)

リミットセンサ

真空タッチセンサ(NORMAL OPEN)

原点センサ

近接原点センサ

Documents / Downloads

品番

カタログPDF

dxf

STP

IGS

SAT

VSGSP-120YAW

Related product