SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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FS-PX
移動量
テーブル面サイズ
移動ガイド
送りネジ
耐荷重
走り平行度
最大移動速度 
ズーム

10nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、5種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。

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製品
技術データ
Documents/Downloads
共通仕様
主要材質アルミ
表面処理黒アルマイト

■モータ/センサ

モータ タイプ□28mm 5相ステッピングモータ
センサ リミットセンサ
センサ スローダウンセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ

■内蔵スケール

信号周期4μm
スケールケーブル※2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 

■適応ドライバ/ケーブル

適応コントローラFC-511、FC-514(FS-3200PXのみ)
適応ケーブルPM-CA、PM4N-CA-*SD(FS-3200PXのみ)
外形図
■FS-1020PX

ズーム
■FS-1050PX

ズーム
■FS-1100PX

ズーム
■FS-3150PX

ズーム
■FS-3200PX

ズーム
接続体系図

ズーム

品番

カタログPDF

dxf

STP

IGS

SAT

FS-1020PX

FS-1050PX

FS-1100PX

FS-3150PX

FS-3200PX

スペック
比較
品番
カートへ入れる カート
    価格(円) 在庫状況 数量
FS-1020PXNEW
FS-1050PXNEW
FS-1100PXNEW
FS-3150PXNEW
FS-3200PXNEW

20mm

60×60mm

クロスローラガイド

ボールねじ径φ4mm、リード1mm

0.5㎏

10nm

±20nm

49N(5kgf)

10μm

10mm/sec

50mm

120×120mm

クロスローラガイド

ボールねじ径φ6mm、リード1mm

1.6㎏

10nm

±20nm

98N(10kgf)

10μm

10mm/sec

100mm

120×120mm

LMガイド

ボールねじ径φ6mm、リード1mm

2.1㎏

10nm

±20nm

98N(10kgf)

10μm

10mm/sec

150mm

120×170mm

LMガイド

ボールねじ径φ8mm、リード1mm

2.8㎏

10nm

±20nm

98N(10kgf)

10μm(移動量100mmあたりの走り平行度)

10mm/sec

200mm

160×230mm

LMガイド

ボールねじ径φ10mm、リード2mm

5.0㎏

10nm

±20nm

196N(20kgf)

10μm(移動量100mmあたりの走り平行度)

20mm/sec

   

350,000

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450,000

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550,000

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750,000

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770,000

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