SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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FS-SPX
移動量
テーブル面サイズ
送りネジ
耐荷重
ズーム

5nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。

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製品
技術データ
Documents/Downloads
共通仕様
主要材質アルミ
表面処理黒アルマイト

■モータ/センサ

モータ タイプ□28mm 5相ステッピングモータ
センサ リミットセンサ
センサ 原点センサ 
センサ 近接原点センサ

■内蔵スケール

信号周期2μm
スケールケーブル※2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 

■適応ドライバ/ケーブル

適応コントローラFC-611
適応ケーブルPM-CA-*
外形図
■FS-1020SPX

ズーム
■FS-1050SPX

ズーム
接続体系図

ズーム

品番

カタログPDF

dxf

STP

IGS

SAT

FS-1020SPX

FS-1050SPX

スペック
比較
品番
カートへ入れる カート
    価格(円) 在庫状況 数量
FS-1020SPXNEW
FS-1050SPXNEW

20mm

60×60mm

ボールねじ径φ4mm、リード1mm

0.5㎏

5nm

±10nm

49N(5kgf)

10μm

5mm/sec

50mm

120×120mm

ボールねじ径φ6mm、リード1mm

1.6㎏

5nm

±10nm

98N(10kgf)

10μm

5mm/sec

   

450,000

お問合せ
   

550,000

お問合せ