- HOME >
- 自動ステージ >
- ナノステージシステム >
- 5nmフィードバックステージシステム >
- 5nmフィードバックステージ
FS-SPX
移動量
テーブル面サイズ
送りネジ
耐荷重
ズーム
5nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。
このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
製品
技術データ
Documents/Downloads
共通仕様
| 主要材質 | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト |
■モータ/センサ
| モータ タイプ | □28mm 5相ステッピングモータ |
| センサ リミットセンサ | 有 |
| センサ 原点センサ | 無 |
| センサ 近接原点センサ | 無 |
■内蔵スケール
| 信号周期 | 2μm |
| スケールケーブル※ | 2m※スケールケーブルはステージから直接出ています。 2mより長く必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。 |
■適応ドライバ/ケーブル
| 適応コントローラ | FC-611 |
| 適応ケーブル | PM-CA-* |
外形図
接続体系図
品番 |
カタログPDF |
dxf |
STP |
IGS |
SAT |
|---|---|---|---|---|---|
 | | | | | |
| | | | |