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MS-SET
軸タイプ
ステージ面サイズ
移動量
耐荷重
ズーム
お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。
X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。
XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。
XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。
XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。
製品
Documents/Downloads
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