SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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SFS-120XY(WA)
ズーム

デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。

◦アクチュエータにピエゾ素子と位置フィードバックにデジタルセンサを搭載した、50×50mmの開口部を持つ超高精密位置決め透過型XYステージで、顕微鏡下での試料の微動に適しています。
◦シグマファインステージ用コントローラFINE-503で駆動することが出来ます。コントローラがRS232C、GP-IB(FINE-503のみ)、USBインターフェイスに対応しておりますので、PCから計測・制御ソフトのSGEMCS、SGTERMおよびSGSFSXを使うことにより簡単に位置制御することができます。
◦各種顕微鏡への組み込み、精密計測、半導体検査装置、高精度マスク位置決め、走査型干渉計、画像処理装置、バイオ関連装置等々の用途に最適です。

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技術データ
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注意

▶クローズ時の移動量は、オープン時の約20%になります。

外形図
■SFS-120XY(WA)

ズーム

品番

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dxf

STP

IGS

SAT

SFS-120XY(WA)

品番
移動量(オープン制御時) テーブル面サイズ アクチュエータ 質量 理論分解能(オープン時) 分解能(クローズ時) リニアリティ 垂直度(水平方向) 繰返し位置決め精度 耐荷重 微小変位センサ 対応ケーブル
カートへ入れる カート
    価格(円) 在庫状況 数量
SFS-120XY(WA)

100μm±10%

120×120mm

ピエゾアクチュエータ

1.2kg

1nm

10nm

<1μm

<0.1μm

19.6N(2.0kgf)

デジタルセンサ

FINE-CA-3:ピエゾ用 DS1-CA-3:デジタルセンサ用

   

700,000

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