SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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SFS-H
移動量(オープン制御時)
テーブル面サイズ
リニアリティ
繰返し位置決め精度
耐荷重
対応ケーブル
ズーム

デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。

◦デジタルセンサ採用によりフルクローズ制御ができる為、高精度・高分解能の位置決め可能なピエゾステージです。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm~100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ)を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
W9057
 繰り返し周波数はSFS-H(直動)において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。

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技術データ
Documents/Downloads
注意

▶クローズ時の移動量は、オープン時より約20%低減します。

外形図
■SFS-H40X(CL)

ズーム
■SFS-H40Z(CL)

ズーム
■SFS-H60X(CL)

ズーム
■SFS-H60XY(CL)

ズーム
■SFS-H60Z(CL)

ズーム
■SFS-H60XYZ(CL)

ズーム
スペック
比較
品番
カートへ入れる カート
    価格(円) 在庫状況 数量
SFS-H40X(CL)
SFS-H40Z(CL)
SFS-H60X(CL)
SFS-H60XY(CL)
SFS-H60Z(CL)
SFS-H60XYZ(CL)

90μm±15%

40×40mm

ピエゾアクチュエータ

0.28kg

1nm

10nm

<0.3%

1μm

<0.1μm

9.8N(1.0kgf)

デジタルセンサ

ケーブル(2m)付属

100μm±15%

40×40mm

ピエゾアクチュエータ

0.28kg

1nm

10nm

<0.3%

1μm

<0.1μm

6.7N(0.7kgf)

デジタルセンサ

ケーブル(2m)付属

100μm±15%

60×60mm

ピエゾアクチュエータ

0.4kg

1nm

10nm

<0.3%

1μm

<0.1μm

19.6N(2.0kgf)

デジタルセンサ

FINE-CA-3:ピエゾ用 DS1-CA-3:デジタルセンサ用

100μm±15%

60×60mm

ピエゾアクチュエータ

0.43kg

1nm

10nm

<0.3%

1μm

<0.1μm

14.7N(1.5kgf)

デジタルセンサ

FINE-CA-3:ピエゾ用 DS1-CA-3:デジタルセンサ用

100μm±15%

60×60mm

ピエゾアクチュエータ

0.33kg

1nm

10nm

<0.3%

1μm

<0.1μm

9.8N(1.0kgf)

デジタルセンサ

FINE-CA-3:ピエゾ用 DS1-CA-3:デジタルセンサ用

100μm±15%

60×60mm

ピエゾアクチュエータ

0.63kg

1nm

10nm

<0.5%

1μm

<0.15μm

9.8N(1.0kgf)

デジタルセンサ

FINE-CA-3:ピエゾ用 DS1-CA-3:デジタルセンサ用

   

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