X軸ピエゾアシストステージ　ステージ面サイズ□25/□40/□60mm

ズーム

手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。

◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。

ピエゾアシスト専用コントローラ

製品

技術データ

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ご案内

▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ（PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル（2m）が付属しています。

注意

▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。
▶ピエゾアシスト専用コントローラ（PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。

外形図

■TADC-251SPA

ズーム

■TADC-251SRPA

ズーム

■TADC-401SPA

ズーム

■TADC-401SRPA

ズーム

■TADC-601SPA

ズーム

■TADC-601SRPA

ズーム

品番	カタログPDF	dxf	STP	IGS	SAT
TADC-251SPA
TADC-251SRPA
TADC-401SPA
TADC-401SRPA
TADC-601SPA
TADC-601SRPA

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		価格(円)	在庫状況	数量

25×25mm

±3mm

25µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

39.2N（4.0kgf）

3μm

2.0N・m

1.9N･m

2.5″/N・cm

2.0″/N・cm

30μm

10μm

0.07kg

25×25mm

±3mm

25µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

39.2N（4.0kgf）

3μm

2.0N・m

1.9N･m

2.5″/N・cm

2.0″/N・cm

30μm

10μm

0.07kg

40×40mm

±6.5mm

30µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

49N(5kgf)

3μm

2.5N･m

3N・m

2.5N･m

0.66″/N･cm

0.36″/N・cm

30μm

10μm

0.16kg

40×40mm

±6.5mm

30µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

49N(5kgf)

3μm

2.5N･m

3N・m

2.5N･m

0.66″/N･cm

0.36″/N・cm

30μm

10μm

0.16kg

60×60mm

±6.5mm

30µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

49N(5kgf)

3μm

4.9N・m

0.3″/N・cm

0.25″/N･cm

30μm

10μm

0.25kg

60×60mm

±6.5mm

30µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

49N(5kgf)

3μm

4.9N・m

0.3″/N・cm

0.25″/N･cm

30μm

10μm

0.25kg

		67,500	在庫あり
		67,500	在庫あり
		68,000	在庫あり
		68,000	在庫あり
		70,000	在庫あり
		70,000	在庫あり

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