SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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TADC-ZPA
テーブル面サイズ
粗動移動量
微動移動量
許容モーメント荷重/ピッチング
許容モーメント荷重/ローリング
モーメント剛性/ピッチング
移動平行度
ズーム

手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができる垂直面取付タイプのZ軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステム に最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。

◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。

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技術データ
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ご案内

▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル(2m)が付属しています。

注意

▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。
▶ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。

外形図
■TADC-251SZPA

ズーム
■TADC-251SRZPA

ズーム
■TADC-401SZPA

ズーム
■TADC-401SRZPA

ズーム
■TADC-601SZPA

ズーム
■TADC-601SRZPA

ズーム
スペック
比較
品番
カートへ入れる カート
    価格(円) 在庫状況 数量
TADC-251SZPANEW
TADC-251SRZPANEW
TADC-401SZPANEW
TADC-401SRZPANEW
TADC-601SZPANEW
TADC-601SRZPANEW

25×25mm

±3mm

25µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

9.8N(1.0kgf)

3μm

1.47N・m

1.47N・m

6.0″/N・cm

20μm

0.07kg

25×25mm

±3mm

25µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

9.8N(1.0kgf)

3μm

1.47N・m

1.47N・m

6.0″/N・cm

20μm

0.07kg

40×40mm

±6.5mm

30µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

9.8N(1.0kgf)

3μm

2.5N・m

2.5N・m

0.66″/N・cm

10μm

0.16kg

40×40mm

±6.5mm

30µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

9.8N(1.0kgf)

3μm

2.5N・m

2.5N・m

0.66″/N・cm

10μm

0.16kg

60×60mm

±6.5mm

30µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

9.8N(1.0kgf)

3μm

2.5N・m

2.5N・m

0.66″/N・cm

10μm

0.25kg

60×60mm

±6.5mm

30µm以上

サイド

0.5mm

0.01mm

20nm以下

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

9.8N(1.0kgf)

3μm

2.5N・m

2.5N・m

0.66″/N・cm

10μm

0.25kg

RoHS CE

67,500

在庫あり
RoHS CE

67,500

在庫あり
RoHS CE

68,000

在庫わずか
RoHS CE

68,000

在庫あり
RoHS CE

70,000

在庫わずか
RoHS CE

70,000

在庫あり