SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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VPKA-ACT
移動量
分解能
保持力
最大移動速度
ケーブル長
ズーム

高真空のチェンバーの装置内で遠隔操作をする場合に使用する低アウトガスの超音波アクチュエータです。

◦小型な外形でありながら、移動量13mm、高速移動0.5mm/secを実現します。
◦ 摺動部分のグリースには、BARRIERTA SUPER IS/Vを使用しています。

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ご案内

▶ご所有の手動ステージやホルダーと組合せをする場合には、別途承ります。営業までお問合せください。
▶先端端子の形状変更も承ります。営業までお問合せください。
▶真空用ミラーホルダーVMHGシリーズへお取付けの際は、特注(先端ボール仕様)で承ります。

外形図
■VPKA-13ACT

ズーム
■VPKAS-13ACT

ズーム

品番

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dxf

STP

IGS

SAT

VPKA-13ACT

VPKAS-13ACT

DS3-CA-SG-2.5

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VPKA-13ACTNEW
VPKAS-13ACTNEW
DS3-CA-SG-2.5NEW

13mm

<1μm

30N

>0.5mm/s

0.2kg

13mm

<1μm

15N

>0.5mm/s

0.1kg

2.5m

RoHS  

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