SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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VSGSP-60
MAXスピード
耐荷重
ズーム

実験用、計測装置のチャンバー内で使用する小型自動ステージです。
コンパクトなスリムボディを実現し、省スペースに効果的です。

≪この製品は販売を終了しています。後継機種はこちらから

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技術データ
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ご案内

▶真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。
▶CEに対応した真空仕様小型自動ステージはこちらから
▶真空用途に使用できる各種ベースホルダーもご用意しています。

共通仕様

■モータ/センサ仕様

モータ  タイプ真空仕様5相ステッピングモータ 0.75A/相
(多摩川精機㈱)
モータ  品番TS3664N5(□24mm)
モータ  ステップ角0.72°
センサ  制御出力接点式
センサ  出力論理NORMAL OPEN

■適応ドライバ/コントローラ

適応ドライバSG-5M、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラSHOT-302GS、SHOT-304GS
外形図
■VSGSP-60(X)

ズーム
■VSGSP-60(XY)

ズーム
■VSGSP-60(Z)

ズーム
真空リミットスイッチ

ズーム
配線方法

ズーム

真空ステージに使用している真空仕様ステッピングモータTS3664N5は5本リードのバラ線になっています。配線される場合、ドライバもしくはケーブルの配線図で表示しているモータリード線の色と以下の通り対応しています。 (ドライバ、ケーブルの結線図で表示しているモータリードは通常のステージに使われているステッピングモータの配線を表します。)

品番

カタログPDF

dxf

STP

IGS

SAT

VSGSP-60(X)

VSGSP-60(XY)

VSGSP-60(Z)

スペック
比較
品番
カートへ入れる カート
    価格(円) 在庫状況 数量
VSGSP-60(X)生産中止
VSGSP-60(XY)生産中止
VSGSP-60(Z)生産中止

20mm

55×60mm

精密研削ネジφ4mm、リード0.5mm

クロスローラ

アルミ

0.55kg

1μm/パルス

0.5μm/パルス

5mm/sec

6μm

29.4N(3.0kgf)

5μm

真空リミットスイッチ

接点式

20mm

55×60mm

精密研削ネジφ4mm、リード0.5mm

クロスローラ

アルミ

1.1kg

1μm/パルス

0.5μm/パルス

5mm/sec

6μm

19.6N(2.0kgf)

5μm

真空リミットスイッチ

接点式

20mm

55×60mm

精密研削ネジφ4mm、リード0.5mm

クロスローラ

アルミ

0.6kg

1μm/パルス

0.5μm/パルス

6μm

14.7N(1.5kgf)

5μm

真空リミットスイッチ

接点式

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