VSGSP-60
MAXスピード
耐荷重
ズーム
実験用、計測装置のチャンバー内で使用する小型自動ステージです。
コンパクトなスリムボディを実現し、省スペースに効果的です。
≪この製品は販売を終了しています。後継機種はこちらから≫
製品
技術データ
Documents/Downloads
ご案内
▶真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。
▶CEに対応した真空仕様小型自動ステージはこちらから。
▶真空用途に使用できる各種ベース・ホルダーもご用意しています。
共通仕様
■モータ/センサ仕様
| モータ タイプ | 真空仕様5相ステッピングモータ 0.75A/相 （多摩川精機㈱） |
| モータ 品番 | TS3664N5（□24mm） |
| モータ ステップ角 | 0.72° |
| センサ 制御出力 | 接点式 |
| センサ 出力論理 | NORMAL OPEN |
■適応ドライバ/コントローラ
| 適応ドライバ | SG-5M、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL |
| 適応コントローラ | SHOT-302GS、SHOT-304GS |
外形図
真空リミットスイッチ
配線方法
品番 |
カタログPDF |
dxf |
STP |
IGS |
SAT |
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