SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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VSGSP-YAW
回転範囲
テーブル面サイズ
移動ガイド
ステージ材質
耐荷重
センサ種類
リミットセンサ
ズーム

真空環境に対応した自動回転ステージです。
φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。

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技術データ
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ご案内

▶真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。
▶真空用途に使用できる各種ベースホルダーもご用意しています。

共通仕様

■モータ/センサ仕様

モータ  タイプVSGSP-60YAW:真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相(多摩川精機㈱)
VSGSP-120YAW:真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番VSGSP-60YAW:TS3664N5(□24mm)
VSGSP-120YAW:PK543V-NB(□42mm)
モータ  ステップ角0.72°
センサ  制御出力VSGSP-60YAW:-
VSGSP-120YAW:接点式
センサ  出力論理VSGSP-60YAW:-
VSGSP-120YAW:NORMAL OPEN

■適応ドライバ/コントローラ

適応ドライバSG-5M、MC-Z0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラGSC-01、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
外形図
■VSGSP-60YAW

ズーム
■VSGSP-120YAW

ズーム
真空ステージの配線方法について

ズーム

真空ステージに使用している真空仕様ステッピングモータTS3664N5は5本リードのバラ線になっています。配線される場合、ドライバもしくはケーブルの配線図で表示しているモータリード線の色と以下の通り対応しています。 (ドライバ、ケーブルの結線図で表示しているモータリードは通常のステージに使われているステッピングモータの配線を表します。)

品番

カタログPDF

dxf

STP

IGS

SAT

VSGSP-60YAW

VSGSP-120YAW

スペック
比較
品番
カートへ入れる カート
    価格(円) 在庫状況 数量
VSGSP-60YAW
VSGSP-120YAW

CW、CCW方向∞

φ60mm

ウォーム ウォームホイール

ベアリング方式

アルミ

0.45kg

0.005°/パルス

0.0025°/パルス

0.5mdeg

20°/sec

0.02°

29.4N(3.0kgf)

0.05°

反時計周りCCW方向は∞ 時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止

φ120mm

ウォーム ウォームホイール

クロスローラ

アルミ・ステンレス

1.7kg

0.005°/パルス

0.0025°/パルス

0.5mdeg

20°/sec

0.02°

98N(10.0kgf)

0.05°

GN-STM35A-1(㈱メトロール)

真空タッチセンサ(NORMAL OPEN)

RoHS CE

480,000

お問合せ
RoHS CE

520,000

お問合せ