SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

アプリケーションシステム
レーザ加工
スキャン光学系と集光光学系

マスクレス加工では、CADなどからのデータを元に直接描画加工を行います。
走査方法により大きく分類され、スキャン光学系と集光光学系にわかれます。また、両者を複合したハイブリッド走査型もあります。

  スキャン光学系 集光光学系
走査方法 ガルバノスキャン ステージスキャン
走査速度 高速 低速
走査エリア 狭い 広い
集光方法 fθレンズ 対物レンズ
集光スポット径 数10μ〜数100μ サブミクロン〜数10μ
焦点深度 深い 浅い
スキャン系

集光系(観察系付)