SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

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カタログコード:W2011
テストターゲット RTT


RTTは Ronchi Ruling平行パターンとウェッジタイプパターン、USAF分解能テストターゲットが1枚に収められたテストターゲットです。
光学システムの性能や写真技術における数値的公差(解像度)を定めたり確認をする場合に使用します。
USAF分解能テストターゲット部はポジティブおよびネガティブがあります。
1mm当たりのラインペアー(線の対)の数は、7段毎に倍になっています。
(ラインペアーは隣接する明るい棒線と暗い棒線のペアのことです。)
Ronchi Ruling

① 〜 ⑪ 平行パターン

パターン間の平行度 ≦ 2″
基板に対するパターンの平行度 ±1°
番 号 LP/mm パターンの長さ(mm)
2.5 100
5 100
10 100
25 100
50 86
71.4 86
100 86
125 86
166.7 40
200 40
250 40

⑫ 平行パターン

空間周波数 0.19〜57.5LP/mm
線幅 0.009〜2.63mm
ウエッジ角度 5°
USAF分解能テストターゲット
ライン
番号
グループ番号
0 1 2 3 4 5 6 7
1 1 2 4 8 16 32 64 128
2 1.12 2.24 4.49 8.98 17.95 36 71.8 144
3 1.26 2.52 5.04 10.1 20.16 40.3 80.6 161
4 1.41 2.83 5.66 11.3 22.62 45.3 90.5 181
5 1.59 3.17 6.35 12.7 25.39 50.8 102 203
6 1.78 3.56 7.13 14.3 28.51 57 114 228
番号

最小空間周波数
(グループ番号−ライン番号)
最大空間周波数
(グループ番号−ライン番号)
ポジ 0-1 7-6
ネガ 0-1 7-6
ポジ 4-1 7-6
ネガ 4-1 7-6
⑭のネガパターンのサイズ 縦22mm×横22mm
⑯のネガパターンのサイズ 縦12.5mm×横15mm
⑮、⑯は上記パターンを9個(縦横3×3)配置
USAF分解能テストターゲット
品番 価格[¥] 適応波長[nm] サイズ(公差)[mm] t(公差)[mm] 材質 クロム蒸着OD 裏面 平行 数量 購入
RTT-127S2.3-1 98,000 400〜700 126.6×126.6(±0.2) 2.3(±0.1) 合成石英 >3 BMAR付 3分以内