SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

手動ステージ
ガイダンス
仕様表の見方・用語について 
(基本)仕様表の見方
仕様

1
品番
2
勝手違い品番
3
価格
税抜のカタログ価格を表示します。
4
テーブル面サイズ
5
移動量
*製品の基準になる位置(下板と上板が同じ位置の場合)を基準位置としてプラス、マイナスで表示します。(カタログに掲載してある外形図は、外形図が上記の基準として一方向にプラス何ミリ、その反対方向にマイナス何ミリに移動します)
*上記の基準がとれない場合は、全移動量を表示します。
*粗動・微動がある場合は、それぞれの移動量を表示します。
6
移動ガイド
*ボールガイド
*クロスローラガイド
*アリ溝方式
*ネジ送り方式
*すり合わせ方式
*ネジ式V溝
※左記以外の特殊なガイド方式もありますので、
それぞれの仕様表を参照ください。
7
主要材質
表面処理
製品に使用されている材質と表面処理について表示します。
8
移動量/1回転
送り操作部(マイクロメータヘッドやファインピッチスクリューなど)を1回転させた場合の最少読取を表示します。
9
マイクロ操作位置
ステージ面に対し、マイクロがどのように組み付けているかセンター、サイドで表示します。
10
耐荷重
ステージ中央部での搭載可能重量(静荷重)です。
※ 搭載可能荷重以上でのご使用をされる場合には、営業までお問い合わせください。
11
移動精度:真直度
(単位:µm)
直動ステージをフルストロークさせた場合、始点と終点を結ぶ直線に対してのどれだけ蛇行しながら移動しているかを表示します。
12
移動精度:ピッチング
始点から終点までフルストロークさせた場合、進行方向に対して前後への傾き角度。
13
移動精度:ヨーイング
: ローリング
始点から終点までフルストロークさせた場合、進行方向に対して左右方向への角度。
始点から終点までフルストロークさせた場合、進行方向に対して回転方向への角度。
14
許容モーメント荷重
(単位:N・m)
ステージの中心から試料の中心が離れた位置にある場合のステージが耐えられる力です。
15
モーメント剛性
(単位:"/N・m)
テーブル面の中心から離れた位置に負荷される(テーブル面の中心と試料の重心が一致しない)荷重に対するステージの強さのことです。ステージ面の中心から1cm離れた位置に1Nの荷重を加えた場合のテーブル面が傾く角度(sec)を示します。
16
平行度
ステージ下面に対するステージ上面の平行度。
17
移動平行度
ステージ全移動量を動かした場合のステージ下面に対するステージ上面の平行度。
18
質量
製品の自重を表示します。
仕様表中の用語について
真直度(水平方向) 〔単位:µm〕

始点から終点(フルストローク)までの一定方向に順次位置決めを行ない、それぞれの位置において基準位置と水平方向との変位量(差)を測定。始点と終点の偏差を0に補正後の最大値(差)を水平方向の真直度とする。


真直度(垂直方向) 〔単位:µm〕

始点から終点(フルストローク)までの一定方向に順次位置決めを行ない、それぞれの位置において基準位置と垂直方向との変位量(差)を測定。始点と終点の偏差を0に補正後の最大値(差)を垂直方向の真直度とする。


ピッチング 〔単位:”〕

始点から終点(フルストローク)までの一定方向に順次位置決めを行ない、それぞれの位置において垂直方向の傾き角度を測定。その最大角度差をピッチングとする。


ヨーイング 〔単位:”〕

始点から終点(フルストローク)までの一定方向に順次位置決めを行ない、それぞれの位置において水平方向の傾き角度を測定。その最大角度差をヨーイングとする。


平行度 〔単位:µm〕

定盤に定置したテストインジケータをステージ等の上面に当て、全面を移動させ測定。テストインジケータの変位値の最大差を平行度とする。


移動平行度 〔単位:µm〕

ステージ等を定盤に固定。ステージ等の上面からテストインジケータを定盤上面に当て、フルストロークを移動させ測定。テストインジケータの変位値の最大差を移動平行度とする。


偏心量 〔単位:µm〕

回転ステージを定盤に固定。回転ステージの外周側面にテストインジケータを当て、1回転(360°全周)移動させ測定。テストインジケータの変位値の最大差の半分(芯ずれ)を偏心量とする。


面振れ 〔単位:µm〕

定盤に定置したテストインジケータを回転ステージの上面の端に当て、1回転(360°全周)移動させ測定。テストインジケータの変位値の最大差を面振れとする。