SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

手動ステージ
ガイダンス
(参考)ボールガイドステージ耐久性能データ 
直動ステージ
試験要領

ステージ上面に負荷(垂直荷重)を与えた状態で往復連続動作をさせ、この時の状態変化を測定します。

試験条件
測定サンプル TSD-601
負荷 100N
動作要領 13mm×1往復/秒(連続動作)
動作回数(距離) 1,000万回(260km)

TSDシリーズ

動作回数1,000万回にてステージガイドの剛性・真直度・ピッチング・ヨーイング・移動平行度に於いて、大きな変化はなく安定したガイド性能です。


モーメント剛性

真直度

ピッチング/ヨーイング

移動平行度

ゴニオステージ
試験要領

ステージ上面に負荷(垂直荷重)を与えた状態で往復連続動作をさせ、この時の状態変化を測定します。

試験条件
測定サンプル GOHT-60A85B
負荷 50N
動作要領 ±15°×0.5往復/秒(連続動作)
動作回数(距離) 60万回(30km)

GOHTシリーズ

動作回数60万回にてステージガイドの剛性・回転中心変位量に於いて、大きな変化はなく安定したガイド性能です。


モーメント剛性

回転中心変位量

回転ステージ
試験要領

ステージ上面に負荷(垂直荷重)を与えた状態で往復連続動作をさせ、この時の状態変化を測定します。

試験条件
測定サンプル KSPT-606MH
負荷 100N
動作要領 ±10°×1往復/秒(連続動作)
動作回数(距離) 10万回(1km)

KSPTシリーズ

動作回数10万回にてステージガイドの剛性・面振れ・平行度に於いて、大きな変化はなく安定したガイド性能です。


モーメント剛性

面振れ/平行度