SIGMAKOKI シグマ光機株式会社

手動ステージ
ガイダンス
ステンレスステージ真空度測定データ 

真空仕様手動ステージから放出されるガス量を計測しました。
ガスの分析によるとガスの主成分は、水と炭化水素です。これはステージ表面に付着した水分と、駆動用潤滑剤として使用しているグリースの一部が気化したと推測されます。

放出ガス量
品番 放出ガス量Q(40分排気後)
(Torr·ℓ/s/unit) (Pa·ℓ/s/unit)
TSDS-602S 3.57×10−5 4.76×10−3
TSDS-603 1.65×10−5 2.20×10−3

評価、装置の仕様

排気装置 : ターボ分子ポンプ STP-301

セイユー精機(株)(現:エドワーズ(株)製)

排気速度:300ℓ/sec

質量分析装置 : 四重極質量分析器 QME200

PFEIFFER社製

マストレンジ:1〜200amu

真空チャンバーの到達真空度

質量成分比

マスピークの解釈

残留ガスにおいてマスピーク(マス・スペクトル)を測定した時に、各質量数に出現するピークがどういったガスなのか、その主なものの一覧表及びその解釈について記載します。

残留ガススペクトルの一覧表